MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。

        MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

        受全球经济疲软影响，全球MEMS传感器市场增长速度放缓，预计未来几年将保持年均8%的复合增长率，而主要增长动力来自消费电子领 域特别是手机领域，汽车电子领域增幅则有所放缓。未来几年平板电脑和智能手机领域的MEMS传感器应用仍将保持强劲增长，但产品零售价呈逐步下降趋势。

　　从市场区域来看，美国欧洲市场份额趋于下降。美国地区市场份额保持稳定，仍是全球高端技术及产品的重要发源地，欧洲收到债务危机以及汽车工业下滑的影响，市场份额略有下降，但是以德国、芬兰、法国为代表的欧洲国家MEMS传感器加工产业发展迅速。

        从产品、技术、价格和应用四个方面分析了未来我国MEMS传感器市场的发展趋势。

　　产品：主力产品性能优化，如加速度计、压力传感器、喷墨打印头等尺寸、功耗等方面的改进。 便携产品尺寸缩小，如DMD微镜阵列等;新型产品规模应用，如地磁传感器等;前沿产品投入研发，如新型MEMS振荡器、基于MEMS技术的存储器、MEMS电池等。

　　技术：系统集成，从单独的芯片向模块和系统解决方案升级;标准工艺，MEMS传感器产品生产工艺进一步开发以及MEMS与COMS工艺仍将进一 步融合，以推动MEMS传感器标准工艺的建立。此外，为进一步降低产品成本，8英寸MEMS传感器生产线数量逐步增多，而独立的MEMS传感器代工厂数量 的增多，也为MEMS传感器大规模制造技术的发展创造了有利的产业发展环境。

　　价格：手机、数码相机、笔记本、平板电脑等3C领域MEMS传感器产品价格下降最快，与之相对，汽车电子、医疗电子等领域中因整机产品对价格不 敏感，因而其中的加速度、压力传感器等MEMS传感器产品价格降幅相对较小。而MEMS喷墨打印头、硅麦克风等产品性能及应用等均已成熟，产品价格也趋于 稳定，一些新产品新应用如用在便携设备中的微机械陀螺仪、地磁传感器等产品价格则下降较快。

　　应用：汽车电子仍是目前我国MEMS传感器最大的应用市场，但以平板电脑为代表的计算机领域和以手机为代表的通讯领域确是目前最为活 跃的两个应用领域。目前，加速度传感器和陀螺仪已成为了平板电脑的标配，而一款高端手机可能已经装配有加速度传感器、硅麦克风、DMD微镜阵列、地磁传感 器、陀螺仪、FBAR双工器、MEMS RF射频模块、MEMS激光扫描仪等数种MEMS产品。

　　另外，我国医疗电子特别是便携医疗电子产业的快速发展，也使得这一领域MEMS传感器产品需求快速释放，而消费电子领域在多媒体产品增速不高的影响下，未来发展相对平衡。